Διευθυντής πωλήσεων:Αντρέα
ΗΛΕΚΤΡΟΝΙΚΗ ΔΙΕΥΘΥΝΣΗ: Andrea@tmaxlaboratory.com
Wechat: 18250801164
Lab CVD System with 1500-1500C Dual Zone Rotary Tube Furnace
Το σύστημα CVD αποτελείται από σύστημα παροχής αερίου + φούρνο σωλήνων + σύστημα κενού και η μέγιστη θερμοκρασία μπορεί να φτάσει τους 1200 μοίρες, 1400 μοίρες, 1600 μοίρες και 1700 μοίρες. Η ζώνη θέρμανσης μπορεί να είναι μία ζώνη θερμοκρασίας, ζώνη διπλής θερμοκρασίας, ζώνη τριών θερμοκρασιών κ.λπ. Το απόλυτο κενό μπορεί να φτάσει τα 10-3Pa. Το σύστημα παροχής αερίου μπορεί να είναι ροόμετρο μάζας ή ροόμετρο πλωτήρα για ρύθμιση ροής. Ο αριθμός των καναλιών μίξης μπορεί να είναι 2 κανάλια, 3 κανάλια, 4 κανάλια και 5 κανάλια.
Λεπτομερείς τεχνικές παράμετροι
Μοντέλο | 1500-1500-I 1500-1500-II |
Εξουσία | 9KW 9KW |
Σωλήνας | Μέγεθος |
Dia | 60(OD) X1400 mm Dia 80(OD) X1400 mm |
Προμήθεια | Τάση |
380 V 380 V | Φάση |
διπλής φάσης διπλή φάση | Σωλήνας |
Σωλήνας κορούνδιου: υψηλής καθαρότητας AIO | κεραμικά (συμπεριλαμβανομένων) 99,5% |
Θέρμανση | στοιχείο |
Πρώτα | ζώνη θερμοκρασίας: ράβδος άνθρακα πυριτίου Δεύτερη ζώνη θερμοκρασίας: ράβδος άνθρακα πυριτίου |
Ταχύτητα περιστροφής σωλήνα κλιβάνου | Με κινητήρα μεταβλητής ταχύτητας χωρίς βήμα, |
η ταχύτητα μπορεί να ρυθμιστεί μεταξύ (1-25 RPM) | Ισχύς κινητήρα 40W Ο κλίβανος μπορεί να γείρει υπό γωνία 0-30 μοίρες Είδος οδήγησης Οδοντωτή ζώνη και γρανάζι Ελεγχος τρόπος Όργανο ελέγχου θερμοκρασίας προγράμματος UAV |
(πρότυπο) | Έλεγχος θερμοκρασίας προγράμματος 1, 30 σταδίων έξυπνη ρύθμιση PID. |
2. Με προστασία υπερ-θερμοκρασίας, το ηλεκτρικό | Το κύκλωμα θέρμανσης του κλιβάνου διακόπτεται αυτόματα όταν η θερμοκρασία είναι |
υπερβολική θερμοκρασία ή σπασμένο, (όταν η θερμοκρασία του ηλεκτρικού κλιβάνου υπερβαίνει | 1520 μοίρες ή το θερμοστοιχείο έχει καεί, το ρελέ AC στο κύριο κύκλωμα |
θα αποσυνδεθεί αυτόματα, το κύριο κύκλωμα έχει σπάσει. On, το ON | Η λυχνία στον πίνακα είναι σβηστή, η λυχνία OFF είναι αναμμένη και η περιορισμένη προστασία |
ηλεκτρικός φούρνος). | 3, με διεπαφή επικοινωνίας 485 (στάνταρ |
κατά την αγορά λογισμικού) | 4, με λειτουργία προστασίας απενεργοποίησης, αυτό |
είναι, όταν ενεργοποιείται η τροφοδοσία μετά την απενεργοποίηση του ρεύματος, το πρόγραμμα | δεν ξεκινά από τη θερμοκρασία εκκίνησης, αλλά τη θερμοκρασία του κλιβάνου |
αυξάνεται από τη στιγμή της διακοπής ρεύματος. | 5, ο μετρητής έχει τη λειτουργία αυτορύθμισης θερμοκρασίας |
(χρειάζεται να πληρώσετε επιπλέον για την αντικατάσταση | εισαγόμενων οργάνων, προαιρετικά) |
Όργανο FP93 |
|
όργανο EUROTHERM | Οθόνη αφής |
όργανο | (shimaden, Ιαπωνία) |
Υλικό φούρνου
1. Υψηλής ποιότητας πολυκρυσταλλική αλουμίνα υψηλής καθαρότητας
φούρνος σκλήρυνσης ινών που σχηματίζεται με διήθηση κενού.
2. Υιοθετήστε την ιαπωνική τεχνολογία για τη χύτευση.
Ελεγχος
ακρίβεια
+/- 1℃
Δώσει το έναυσμα για
Φάση-μετατόπιση
δώσει το έναυσμα για
Ηλεκτρικός
συσκευή
Zhejiang
τσαντάκι
Πυρίτιο
ελεγχόμενη
106/16ΕΣΕΜΙΚΡΩΝ
ο
υψηλότερη θερμοκρασία στην πρώτη και δεύτερη ζώνη θερμοκρασίας
1500℃
Βαθμολογήθηκε
θερμοκρασία στην πρώτη και δεύτερη ζώνη θερμοκρασίας
1400 ℃
Θέρμανση
τιμή
≤20℃/ Min (μπορεί να τροποποιηθεί όπως απαιτείται)
Συνιστάται
ρυθμός αύξησης της θερμοκρασίας
≤10℃/ Ελάχ
Θερμοστοιχείο
Πληκτρολογήστε το πρώτο
ζώνη θερμοκρασίας
μικρό
πληκτρολογήστε τη δεύτερη περιοχή θερμοκρασίας
Μήκος
τμήματος θέρμανσης στην πρώτη και δεύτερη ζώνη θερμοκρασίας
300+300 mm 300+300 mm
Μήκος σταθερής θερμοκρασίας
450 χλστ.
Παροχή αέρα τριών καναλιών Gx-3 (μικτή
αέρα) σύστημα
1.1. Το αέριο εξέρχεται από τον κύλινδρο, είναι
αποσυμπιεσμένο μέσω μιας βαλβίδας μείωσης της πίεσης, περνά μέσα από το σωλήνα PTFE
στην είσοδο του συστήματος παροχής αερίου και στη συνέχεια διέρχεται από τη ροή μάζαςμετρητή για τον έλεγχο της ροής αερίου και στη συνέχεια περνά μέσα από τη δεξαμενή ανάμειξης αερίου και
στη συνέχεια εισέρχεται στην είσοδο του κλιβάνου. 1.2. 2) | Ένα μανόμετρο είναι προσαρτημένο στη δεξαμενή ανάμιξης αερίου και στο μανόμετρο | Ο δίσκος οθόνης και ο ελεγκτής ροόμετρου πρωτονίου είναι εγκατεστημένοι στον ίδιο | |
πίνακας. | 1.3. | ||
Κάθε γραμμή αερίου διαθέτει βαλβίδα διακοπής υψηλής πίεσης για ασφάλεια. | 1.4. | ||
Η διαδρομή αερίου υιοθετεί έναν μετρητή ροής μάζας αερίου υψηλής ακρίβειας και το εσωτερικό του | Η διαδρομή αερίου είναι εξ ολοκλήρου κατασκευασμένη από σωλήνα από ανοξείδωτο χάλυβα, ο οποίος έχει καλή διάβρωση | ||
αντίσταση. 1.5. | Όλοι οι σύνδεσμοι στο κουτί συνδέονται με ανοξείδωτα φερμουάρ, τα οποία έχουν | καλή αεροστεγανότητα και αντοχή σε υψηλή πίεση. | |
2. Τεχνικές παράμετροι: | Πνευματικό κανάλι: 3 | ||
Έλεγχος ροής αερίου: | μετρητής ροής μάζας. | ||
Διαστάσεις ντουλαπιού: | 600Χ600Χ600χιλ | ||
Ροόμετρο μάζας | Τεχνικές παράμετροι: | ||
Διεπαφή: Φ6 | Οθόνη: LED | ||
Θερμοκρασία περιβάλλοντος εργασίας: 5~45°C | Ελεγκτής ροής: | ||
Παράμετροι ελεγκτή ροής πρωτονίων Ελέγξτε ξανά | Σωλήνας από ανοξείδωτο χάλυβα: | ||
Φ6 εκτός Χ Φ4 | Κενό πίεσης | ||
πίνακας: -0,1~0,15 MPa, 0,01 | MPa/διαίρεση | ||
Βαλβίδα διακοπής: Φ6 Έλεγχος ροής: PLC έξυπνο έλεγχο | 功率 | 3. Ροόμετρο μάζας | |
电压 | Τεχνικές παράμετροι: | ||
转速 | Προϊόν | ||
Όνομα: Ελεγκτής μαζικής ροής | Προϊόν | ||
Περιγραφή : Κανονικού τύπου, αναλογικό κύκλωμα | 6 | ||
Προϊόν | λεπτομέρειες: Συνηθισμένο, αναλογικό κύκλωμα, ελαστική σφράγιση, σωληνοειδές παρακλάδι, δεν είναι εύκολο | ||
ΟΙΚΟΔΟΜΙΚΟ ΤΕΤΡΑΓΩΝΟ. Κύριος | δείκτες: Εύρος: 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 SCCM, 1, 2, 3, 5, 10 | SLM (μπορείτε να επιλέξετε το εύρος αυθαίρετα) | |
• | Ακρίβεια: ±1% F.S | ||
• | Γραμμική: 0,5% Φ.Σ | ||
• | Επαναληψιμότητα: ±0,2% F.S | ||
• | Χρόνος απόκρισης: 1S | ||
• | Πτώση πίεσης αέρα: <0,01MPa | ||
• | Μέγιστη πίεση: 3MP | • | |
Θερμοκρασία περιβάλλοντος εργασίας: 5~45°C | • | ||
Σήματα εισόδου και εξόδου: 0~+5,00V | • | ||
Ισχύς: +15V 50mA -15V 50mA | • |
Διαστάσεις: 158*30*110
•
Βάρος: 0,9 Kgg