Lab CVD System with 1500-1500C Dual Zone Rotary Tube Furnace

Sales Lab CVD System with 1500-1500C Dual Zone Rotary Tube Furnace

Διευθυντής πωλήσεων:Αντρέα

ΗΛΕΚΤΡΟΝΙΚΗ ΔΙΕΥΘΥΝΣΗ: Andrea@tmaxlaboratory.com

Wechat: 18250801164

  • :
  • :

Λεπτομέρεια προϊόντος  

Lab CVD System with 1500-1500C Dual Zone Rotary Tube Furnace

Το σύστημα CVD αποτελείται από σύστημα παροχής αερίου + φούρνο σωλήνων + σύστημα κενού και η μέγιστη θερμοκρασία μπορεί να φτάσει τους 1200 μοίρες, 1400 μοίρες, 1600 μοίρες και 1700 μοίρες. Η ζώνη θέρμανσης μπορεί να είναι μία ζώνη θερμοκρασίας, ζώνη διπλής θερμοκρασίας, ζώνη τριών θερμοκρασιών κ.λπ. Το απόλυτο κενό μπορεί να φτάσει τα 10-3Pa. Το σύστημα παροχής αερίου μπορεί να είναι ροόμετρο μάζας ή ροόμετρο πλωτήρα για ρύθμιση ροής. Ο αριθμός των καναλιών μίξης μπορεί να είναι 2 κανάλια, 3 κανάλια, 4 κανάλια και 5 κανάλια.


Λεπτομερείς τεχνικές παράμετροι

Μοντέλο

1500-1500-I                                                      1500-1500-II

Εξουσία

9KW                                                                  9KW

Σωλήνας

Μέγεθος

Dia

60(OD) X1400 mm                                       Dia 80(OD) X1400 mm

Προμήθεια

Τάση

380 V                                                                      380 V

Φάση

διπλής φάσης                                                              διπλή φάση

Σωλήνας

Σωλήνας κορούνδιου: υψηλής καθαρότητας AIO

κεραμικά (συμπεριλαμβανομένων) 99,5%

Θέρμανση

στοιχείο

Πρώτα

ζώνη θερμοκρασίας: ράβδος άνθρακα πυριτίου                   Δεύτερη ζώνη θερμοκρασίας: ράβδος άνθρακα πυριτίου

Ταχύτητα περιστροφής σωλήνα κλιβάνου

Με κινητήρα μεταβλητής ταχύτητας χωρίς βήμα,

η ταχύτητα μπορεί να ρυθμιστεί μεταξύ (1-25 RPM)

Ισχύς κινητήρα

40W

Ο κλίβανος μπορεί να γείρει υπό γωνία

0-30 μοίρες

Είδος οδήγησης

Οδοντωτή ζώνη και γρανάζι

Ελεγχος

τρόπος

Όργανο ελέγχου θερμοκρασίας προγράμματος UAV

(πρότυπο)


Έλεγχος θερμοκρασίας προγράμματος 1, 30 σταδίων

έξυπνη ρύθμιση PID.

2. Με προστασία υπερ-θερμοκρασίας, το ηλεκτρικό

Το κύκλωμα θέρμανσης του κλιβάνου διακόπτεται αυτόματα όταν η θερμοκρασία είναι

υπερβολική θερμοκρασία ή σπασμένο, (όταν η θερμοκρασία του ηλεκτρικού κλιβάνου υπερβαίνει

1520 μοίρες ή το θερμοστοιχείο έχει καεί, το ρελέ AC στο κύριο κύκλωμα

θα αποσυνδεθεί αυτόματα, το κύριο κύκλωμα έχει σπάσει. On, το ON

Η λυχνία στον πίνακα είναι σβηστή, η λυχνία OFF είναι αναμμένη και η περιορισμένη προστασία

ηλεκτρικός φούρνος).

3, με διεπαφή επικοινωνίας 485 (στάνταρ

κατά την αγορά λογισμικού)

4, με λειτουργία προστασίας απενεργοποίησης, αυτό

είναι, όταν ενεργοποιείται η τροφοδοσία μετά την απενεργοποίηση του ρεύματος, το πρόγραμμα

δεν ξεκινά από τη θερμοκρασία εκκίνησης, αλλά τη θερμοκρασία του κλιβάνου

αυξάνεται από τη στιγμή της διακοπής ρεύματος.

5, ο μετρητής έχει τη λειτουργία αυτορύθμισης θερμοκρασίας

(χρειάζεται να πληρώσετε επιπλέον για την αντικατάσταση

εισαγόμενων οργάνων, προαιρετικά)

Όργανο FP93

όργανο EUROTHERM

Οθόνη αφής

όργανο

(shimaden, Ιαπωνία)



Υλικό φούρνου

1. Υψηλής ποιότητας πολυκρυσταλλική αλουμίνα υψηλής καθαρότητας

φούρνος σκλήρυνσης ινών που σχηματίζεται με διήθηση κενού.

2. Υιοθετήστε την ιαπωνική τεχνολογία για τη χύτευση.

Ελεγχος

ακρίβεια

+/- 1℃

Δώσει το έναυσμα για

Φάση-μετατόπιση

δώσει το έναυσμα για

Ηλεκτρικός

συσκευή

Zhejiang

τσαντάκι

Πυρίτιο

ελεγχόμενη

106/16ΕΣΕΜΙΚΡΩΝ

ο

υψηλότερη θερμοκρασία στην πρώτη και δεύτερη ζώνη θερμοκρασίας

1500℃

Βαθμολογήθηκε

θερμοκρασία στην πρώτη και δεύτερη ζώνη θερμοκρασίας

1400 ℃

Θέρμανση

τιμή

≤20℃/ Min (μπορεί να τροποποιηθεί όπως απαιτείται)

Συνιστάται

ρυθμός αύξησης της θερμοκρασίας

≤10℃/ Ελάχ

Θερμοστοιχείο

Πληκτρολογήστε το πρώτο

ζώνη θερμοκρασίας

μικρό

πληκτρολογήστε τη δεύτερη περιοχή θερμοκρασίας

Μήκος

τμήματος θέρμανσης στην πρώτη και δεύτερη ζώνη θερμοκρασίας

300+300 mm                                              300+300 mm

Μήκος σταθερής θερμοκρασίας

450 χλστ.

Παροχή αέρα τριών καναλιών Gx-3 (μικτή

αέρα) σύστημα

1.1. Το αέριο εξέρχεται από τον κύλινδρο, είναι

αποσυμπιεσμένο μέσω μιας βαλβίδας μείωσης της πίεσης, περνά μέσα από το σωλήνα PTFE

στην είσοδο του συστήματος παροχής αερίου και στη συνέχεια διέρχεται από τη ροή μάζας




μετρητή για τον έλεγχο της ροής αερίου και στη συνέχεια περνά μέσα από τη δεξαμενή ανάμειξης αερίου και

στη συνέχεια εισέρχεται στην είσοδο του κλιβάνου.

1.2.

2)


Ένα μανόμετρο είναι προσαρτημένο στη δεξαμενή ανάμιξης αερίου και στο μανόμετρο

Ο δίσκος οθόνης και ο ελεγκτής ροόμετρου πρωτονίου είναι εγκατεστημένοι στον ίδιο

πίνακας.

1.3.

Κάθε γραμμή αερίου διαθέτει βαλβίδα διακοπής υψηλής πίεσης για ασφάλεια.

1.4.

Η διαδρομή αερίου υιοθετεί έναν μετρητή ροής μάζας αερίου υψηλής ακρίβειας και το εσωτερικό του

Η διαδρομή αερίου είναι εξ ολοκλήρου κατασκευασμένη από σωλήνα από ανοξείδωτο χάλυβα, ο οποίος έχει καλή διάβρωση

αντίσταση.

1.5.

Όλοι οι σύνδεσμοι στο κουτί συνδέονται με ανοξείδωτα φερμουάρ, τα οποία έχουν

καλή αεροστεγανότητα και αντοχή σε υψηλή πίεση.

2. Τεχνικές παράμετροι:

Πνευματικό κανάλι: 3

Έλεγχος ροής αερίου:

μετρητής ροής μάζας.

Διαστάσεις ντουλαπιού:

600Χ600Χ600χιλ

Ροόμετρο μάζας

Τεχνικές παράμετροι:

Διεπαφή: Φ6

Οθόνη: LED

Θερμοκρασία περιβάλλοντος εργασίας: 5~45°C

Ελεγκτής ροής:

Παράμετροι ελεγκτή ροής πρωτονίων Ελέγξτε ξανά

Σωλήνας από ανοξείδωτο χάλυβα:

Φ6 εκτός Χ Φ4

Κενό πίεσης

πίνακας: -0,1~0,15 MPa, 0,01

MPa/διαίρεση

Βαλβίδα διακοπής: Φ6

Έλεγχος ροής: PLC

έξυπνο έλεγχο

功率

3. Ροόμετρο μάζας

电压

Τεχνικές παράμετροι:

转速

Προϊόν

Όνομα: Ελεγκτής μαζικής ροής

Προϊόν

Περιγραφή : Κανονικού τύπου, αναλογικό κύκλωμα

6

Προϊόν

λεπτομέρειες: Συνηθισμένο, αναλογικό κύκλωμα, ελαστική σφράγιση, σωληνοειδές παρακλάδι, δεν είναι εύκολο

ΟΙΚΟΔΟΜΙΚΟ ΤΕΤΡΑΓΩΝΟ.

Κύριος

δείκτες: Εύρος: 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 SCCM, 1, 2, 3, 5, 10

SLM (μπορείτε να επιλέξετε το εύρος αυθαίρετα)

Ακρίβεια: ±1% F.S

Γραμμική: 0,5% Φ.Σ

Επαναληψιμότητα: ±0,2% F.S

Χρόνος απόκρισης: 1S

Πτώση πίεσης αέρα: <0,01MPa

Μέγιστη πίεση: 3MP

Θερμοκρασία περιβάλλοντος εργασίας: 5~45°C

Σήματα εισόδου και εξόδου: 0~+5,00V

Ισχύς: +15V 50mA -15V 50mA

PECVD




Tmax CE

TMAX Partner

CVD furnace


tube furnace


muffle furnace



Διαστάσεις: 158*30*110

Βάρος: 0,9 Kgg



Tags :
Leave A Message
If you are interested in our products and want to know more details,please leave a message here,we will reply you as soon as we can.
X

Home

Supplier

Leave a message

Leave a message

If you are interested in our products and want to know more details,please leave a message here,we will reply you as soon as we can.