Διευθυντής πωλήσεων:Αντρέα
ΗΛΕΚΤΡΟΝΙΚΗ ΔΙΕΥΘΥΝΣΗ: Andrea@tmaxlaboratory.com
Wechat: 18250801164
Φούρνος PECVD 1600C με σύστημα παροχής αερίου και σύστημα κενού
ο
Το σύστημα PECVD αποτελείται από έναν κλίβανο σωλήνων, έναν θάλαμο κενού χαλαζία, ένα κενό
σύστημα, ένα σύστημα παροχής αερίου και ένα σύστημα τροφοδοσίας ραδιοσυχνοτήτων. Κυρίως | χρησιμοποιείται για: ανάπτυξη μεταλλικών λεπτών μεμβρανών, κεραμικών λεπτών μεμβρανών, σύνθετων λεπτών μεμβρανών, | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
γραφένιο κ.λπ. Είναι εύκολο να προστεθούν συναρτήσεις και μπορεί να επεκτείνει λειτουργίες όπως π.χ | καθαρισμός και χάραξη πλάσματος. Το σύστημα PECVD έχει τα πλεονεκτήματα του υψηλού φιλμ | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
ρυθμός εναπόθεσης, καλή ομοιομορφία, υψηλή συνοχή και σταθερότητα. | Αναλυτικά τεχνικά Παράμετροι | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Μοντέλο | TL1600-I | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Εξουσία | 5 KW | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Μέγεθος σωλήνα (OD) (mm) | Σωλήνας κορούνδιου υψηλής καθαρότητας: 60 mm (διάμετρος σωλήνα) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Δύο βύσματα φούρνου τοποθετούνται σε κάθε πλευρά. ο | Το βύσμα του κλιβάνου μπορεί να εμποδίσει την ακτινοβολία θερμότητας στο κέντρο του σωλήνα του κλιβάνου | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
και πρέπει να τοποθετηθεί στη σωστή θέση στον κλίβανο πριν από τη θέρμανση. | Διάσταση 1120X490X855 τάση τροφοδοσίας 220V φάση μονή φάση θερμαντικό στοιχείο Ράβδος μολυβδαινίου πυριτίου 1800 μοντέλου Τύπος ελέγχου θερμοκρασίας | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Χρήση | Όργανο ελέγχου θερμοκρασίας προγράμματος Yudian (στάνταρ) 1. | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Έξυπνη ρύθμιση PID για έλεγχο θερμοκρασίας προγράμματος 30 τμημάτων. | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
2. | Με προστασία από την υπερβολική θερμοκρασία, το κύκλωμα θέρμανσης του ηλεκτρικού κλιβάνου θα | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
διακόπτεται αυτόματα όταν η θερμοκρασία είναι υπερβολική ή όταν η | το ζευγάρι έχει σπάσει. ON, η λυχνία ON στον πίνακα είναι σβηστή, η λυχνία OFF είναι αναμμένη, | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
και ο ηλεκτρικός φούρνος προστατεύεται περιορισμένα). | 3. | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Με διεπαφή επικοινωνίας 485 (στάνταρ με προαιρετικό λογισμικό) | 4. | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Διαθέτει λειτουργία προστασίας από διακοπή ρεύματος, δηλαδή όταν ο φούρνος είναι | ενεργοποιείται μετά την απενεργοποίηση του ρεύματος, το πρόγραμμα δεν ξεκινά από το | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
αρχική θερμοκρασία, αλλά ξεκινά από τη θερμοκρασία του κλιβάνου όταν η ισχύς | είναι κλειστό. | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
5.Το | Ο μετρητής έχει τη λειτουργία αυτορυθμισμού θερμοκρασίας | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
(χρειάζεται να πληρώσετε επιπλέον για την αντικατάσταση του εισαγόμενου | όργανα, προαιρετικά) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Όργανο FP93 όργανο EUROTHERM Οθόνη αφής | όργανο | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
(shimaden, Ιαπωνία) | Υλικό θαλάμου | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
1. Το υλικό της εστίας είναι κατασκευασμένο από υψηλής ποιότητας | πολυκρυσταλλική ίνα αλουμίνας. | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
2. Η επιφάνεια του εσωτερικού κλιβάνου είναι επικαλυμμένη με | εισαγόμενη επίστρωση αλουμίνας 1800 βαθμών υψηλής θερμοκρασίας, η οποία μπορεί να αυξήσει την εκπομπής και κάνουν το πεδίο θερμοκρασίας πιο ισορροπημένο. Βαλβίδες και φλάντζες ακρίβεια ελέγχου
| ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
ψηφιακή οθόνη οθόνης. | Ενστερνίζομαι Αντλία κενού VRD16 VRD16 Τεχνικός όρος Προσδιορισμός VRD-16 Ταχύτητα άντλησης m³/h (L/s)
ισχύς κινητήρα (KW) 0,75 KW/0,55 KW Σύνδεση εισόδου/εξόδου DN KF25
χρησιμοποιείται ελεγκτής ροής, δείτε το πίσω μέρος
|
έξυπνο έλεγχο
Τεχνικός | παράμετροι του ελεγκτή ροής μάζας: |
Προϊόν | περιγραφή: Κοινού τύπου, αναλογικό κύκλωμα |
Προϊόν | αναλυτική περιγραφή: Συνηθισμένος τύπος, αναλογικό κύκλωμα, ελαστική τσιμούχα, σωληνοειδές shunt, δεν είναι εύκολο να μπλοκαριστεί. |
Κύριος | δείκτες: |
Εύρος | 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200SCCM (μπορείτε να επιλέξετε οποιοδήποτε εύρος) Επιβεβαιώστε πότε |
κάνετε την παραγγελία | Ακρίβεια±1% F.S |
Γραμμικός | 0,5% Φ.Σ |
Επαναληψιμότητα | ±0,2% Φ.Σ |
Απάντηση | χρόνος |
Αέρας | πτώση πίεσης |
<0,01 MPa | Το μέγιστο |
πίεση
3 MP
Εργαζόμενος
θερμοκρασία περιβάλλοντος
5~45℃
Εισαγωγή
και σήμα εξόδου
0~+5,00V
Εξουσία
Προμήθεια
+15V 50mA -15V 50mA
Διαστάσεις
158*30*110
Βάρος
0,9 Kg
Διαμόρφωση συστήματος παροχής αερίου: