Φούρνος 1600C CVD με σύστημα παροχής αερίου και σύστημα κενού

Sales Φούρνος 1600C CVD με σύστημα παροχής αερίου και σύστημα κενού

Διευθυντής πωλήσεων:Αντρέα

ΗΛΕΚΤΡΟΝΙΚΗ ΔΙΕΥΘΥΝΣΗ: Andrea@tmaxlaboratory.com

Wechat: 18250801164

  • :
  • :

Λεπτομέρεια προϊόντος  

Φούρνος PECVD 1600C με σύστημα παροχής αερίου και σύστημα κενού

ο



Το σύστημα PECVD αποτελείται από έναν κλίβανο σωλήνων, έναν θάλαμο κενού χαλαζία, ένα κενό

σύστημα, ένα σύστημα παροχής αερίου και ένα σύστημα τροφοδοσίας ραδιοσυχνοτήτων. Κυρίως

χρησιμοποιείται για: ανάπτυξη μεταλλικών λεπτών μεμβρανών, κεραμικών λεπτών μεμβρανών, σύνθετων λεπτών μεμβρανών,

γραφένιο κ.λπ. Είναι εύκολο να προστεθούν συναρτήσεις και μπορεί να επεκτείνει λειτουργίες όπως π.χ

καθαρισμός και χάραξη πλάσματος. Το σύστημα PECVD έχει τα πλεονεκτήματα του υψηλού φιλμ

ρυθμός εναπόθεσης, καλή ομοιομορφία, υψηλή συνοχή και σταθερότητα.

Αναλυτικά τεχνικά

Παράμετροι

Μοντέλο

TL1600-I

Εξουσία

5 KW

Μέγεθος σωλήνα (OD) (mm)

Σωλήνας κορούνδιου υψηλής καθαρότητας: 60 mm (διάμετρος σωλήνα)

Δύο βύσματα φούρνου τοποθετούνται σε κάθε πλευρά. ο

Το βύσμα του κλιβάνου μπορεί να εμποδίσει την ακτινοβολία θερμότητας στο κέντρο του σωλήνα του κλιβάνου

και πρέπει να τοποθετηθεί στη σωστή θέση στον κλίβανο πριν από τη θέρμανση.

Διάσταση

1120X490X855

τάση τροφοδοσίας

220V

φάση

μονή φάση

θερμαντικό στοιχείο

Ράβδος μολυβδαινίου πυριτίου 1800 μοντέλου

Τύπος ελέγχου θερμοκρασίας

Χρήση

Όργανο ελέγχου θερμοκρασίας προγράμματος Yudian (στάνταρ)

1.

Έξυπνη ρύθμιση PID για έλεγχο θερμοκρασίας προγράμματος 30 τμημάτων.

2.

Με προστασία από την υπερβολική θερμοκρασία, το κύκλωμα θέρμανσης του ηλεκτρικού κλιβάνου θα

διακόπτεται αυτόματα όταν η θερμοκρασία είναι υπερβολική ή όταν η

το ζευγάρι έχει σπάσει. ON, η λυχνία ON στον πίνακα είναι σβηστή, η λυχνία OFF είναι αναμμένη,

και ο ηλεκτρικός φούρνος προστατεύεται περιορισμένα).

3.

Με διεπαφή επικοινωνίας 485 (στάνταρ με προαιρετικό λογισμικό)

4.

Διαθέτει λειτουργία προστασίας από διακοπή ρεύματος, δηλαδή όταν ο φούρνος είναι

ενεργοποιείται μετά την απενεργοποίηση του ρεύματος, το πρόγραμμα δεν ξεκινά από το

αρχική θερμοκρασία, αλλά ξεκινά από τη θερμοκρασία του κλιβάνου όταν η ισχύς

είναι κλειστό.

5.Το

Ο μετρητής έχει τη λειτουργία αυτορυθμισμού θερμοκρασίας

(χρειάζεται να πληρώσετε επιπλέον για την αντικατάσταση του εισαγόμενου

όργανα, προαιρετικά)

Όργανο FP93                              όργανο EUROTHERM                         Οθόνη αφής

όργανο

(shimaden, Ιαπωνία)

Υλικό θαλάμου

1. Το υλικό της εστίας είναι κατασκευασμένο από υψηλής ποιότητας

πολυκρυσταλλική ίνα αλουμίνας.

2. Η επιφάνεια του εσωτερικού κλιβάνου είναι επικαλυμμένη με


εισαγόμενη επίστρωση αλουμίνας 1800 βαθμών υψηλής θερμοκρασίας, η οποία μπορεί να αυξήσει την

εκπομπής και κάνουν το πεδίο θερμοκρασίας πιο ισορροπημένο.

Βαλβίδες και φλάντζες

ακρίβεια ελέγχου


+/- 1℃

δώσει το έναυσμα για

Σκανδάλη με μετατόπιση φάσης

ηλεκτρική συσκευή


Zhejiang chint

ελεγχόμενο πυρίτιο

106/16Ε ΣΕΜΙΚΡΩΝ

Μέγιστη. θερμοκρασία

1600℃

Ονομαστική θερμοκρασία

1550 ℃

ρυθμός θέρμανσης

≤20℃/ Min (Μπορεί να τροποποιηθεί όπως απαιτείται)

Συνιστώμενος ρυθμός θέρμανσης

≤10  ℃/ Ελάχ

Μοντέλο θερμοστοιχείου

Τύπος Β

Μήκος τμήματος θέρμανσης

300 χλστ

Θερμοκρασία επιφάνειας περιβάλλοντος

≤45℃

Σύστημα κενού

VS-0.1

σύστημα κενού

VS-0.1

το σύστημα κενού μπορεί να τραβήξει το βαθμό κενού στο σωλήνα του κλιβάνου σωλήνων σε 0,1Pa (και εξοπλισμένο με μετρητή κενού αντίστασης

απεικόνιση).

Με πράσινο LED

ψηφιακή οθόνη οθόνης.

Ενστερνίζομαι

Αντλία κενού VRD16

VRD16

Τεχνικός όρος

Προσδιορισμός

VRD-16

Ταχύτητα άντλησης m³/h (L/s)

50Hz

Φ6

16 m³/h

4,4 L/s

60Hz

19,2 m³/h

5,2 L/s

Περιορίστε τη μερική πίεση - χωρίς έρμα αερίου (Pa)

4x10-2

Όριο ολικής πίεσης - χωρίς έρμα αερίου (Pa)

4x10-1

Περιορισμός ολικής πίεσης - έρμα αερίου (Pa)

8x10-1

Φ6

παροχή ηλεκτρικού ρεύματος

Μονοφασικό/τριφασικό


ισχύς κινητήρα (KW)

0,75 KW/0,55 KW

Σύνδεση εισόδου/εξόδου DN

KF25

χωρητικότητα λαδιού

0,9-1,5 L

ταχύτητα κινητήρα (σ.α.λ.)

50Hz

1440 σ.α.λ

Σύστημα παροχής αερίου

Αέριο

σύστημα παροχής αερίου μετρητή ροής

Τεχνικές παράμετροι:

1S

l Πνευματικό κανάλι: 6

l Πνευματικός έλεγχος ροής: χρησιμοποιήστε μετρητή ροής μάζας.

l Μέγεθος ντουλαπιού: 600X600X600mm

l Με οθόνη LED

l Τεχνικές παράμετροι ροόμετρου μάζας:

Διεπαφή

Απεικόνιση

LED

Εργαζόμενος

θερμοκρασία περιβάλλοντος

5~45℃

Ροή

ελεγκτής

Πρωτόνιο


χρησιμοποιείται ελεγκτής ροής, δείτε το πίσω μέρος

Ανοξείδωτος

6

χαλύβδινος σωλήνας

1

Φ6

6

έξω Χ Φ4 μέσα

6

Πίεση

2

τραπέζι κενού

6

-0,1~0,15 MPa, 0,01 MPa/διαιρ

Να σταματήσει

βαλβίδα

1

Ροή

έλεγχος

PLC

έξυπνο έλεγχο


Τεχνικός

παράμετροι του ελεγκτή ροής μάζας:

Προϊόν

περιγραφή: Κοινού τύπου, αναλογικό κύκλωμα

Προϊόν

αναλυτική περιγραφή: Συνηθισμένος τύπος, αναλογικό κύκλωμα, ελαστική τσιμούχα, σωληνοειδές shunt, δεν είναι εύκολο να μπλοκαριστεί.

Κύριος

δείκτες:

Εύρος

5, 10, 20, 30, 50, 100, 200SCCM (μπορείτε να επιλέξετε οποιοδήποτε εύρος) Επιβεβαιώστε πότε

κάνετε την παραγγελία

Ακρίβεια±1% F.S

Γραμμικός

0,5% Φ.Σ

Επαναληψιμότητα

±0,2% Φ.Σ

Απάντηση

χρόνος

Αέρας

πτώση πίεσης

<0,01 MPa

Το μέγιστο
















πίεση

3 MP

Εργαζόμενος

θερμοκρασία περιβάλλοντος

5~45℃


Εισαγωγή

και σήμα εξόδου

0~+5,00V

Εξουσία

Προμήθεια

+15V 50mA -15V 50mA

Διαστάσεις

158*30*110



Tmax CE

TMAX Partner

CVD furnace


tube furnace


muffle furnace



Βάρος

0,9 Kg

Διαμόρφωση συστήματος παροχής αερίου:



Tags :
Leave A Message
If you are interested in our products and want to know more details,please leave a message here,we will reply you as soon as we can.
X

Home

Supplier

Leave a message

Leave a message

If you are interested in our products and want to know more details,please leave a message here,we will reply you as soon as we can.