Διευθυντής πωλήσεων:Αντρέα
ΗΛΕΚΤΡΟΝΙΚΗ ΔΙΕΥΘΥΝΣΗ: Andrea@tmaxlaboratory.com
Wechat: 18250801164
Τροφοδοτικό RF για PECVD
ο
Το σύστημα PECVD αποτελείται από έναν κλίβανο σωλήνων, έναν θάλαμο κενού χαλαζία, ένα κενό
σύστημα, ένα σύστημα παροχής αερίου και ένα σύστημα τροφοδοσίας ραδιοσυχνοτήτων. Κυρίως | χρησιμοποιείται για: ανάπτυξη μεταλλικών λεπτών μεμβρανών, κεραμικών λεπτών μεμβρανών, σύνθετων λεπτών μεμβρανών, |
γραφένιο κ.λπ. Είναι εύκολο να προστεθούν συναρτήσεις και μπορεί να επεκτείνει λειτουργίες όπως π.χ | καθαρισμός και χάραξη πλάσματος. Το σύστημα PECVD έχει τα πλεονεκτήματα του υψηλού φιλμ |
ρυθμός εναπόθεσης, καλή ομοιομορφία, υψηλή συνοχή και σταθερότητα. | Κύριες τεχνικές παράμετροι τροφοδοσίας RF: |
Εύρος ισχύος εξόδου | 0-500W |
Μέγιστη ανακλώμενη | εξουσία |
200W | συχνότητα εργασίας |
RF: 13,56MHZ±0,005% | Σταθερότητα ισχύος |
+/-0,1% | Αρμονικό συστατικό |
≤-50dbc | Πλάτος περιοχής Rf |
0-600mm ρυθμιζόμενο | Ταίριασμα τρόπου |
αυτόματο | Λειτουργία ψύξης |
Σημεία κρύου
Θόρυβος
<50dB
Subscribe to our weekly newsletter and receive exclusive offers on products you love!
X
Gold Supplier
